mikro oqim sensori
Mikro oqim sensori — bu suyuqliklar yoki gazlarning miniatiuralizatsiya qilingan tizimlardagi oqim tezligini aniq nazorat qilish va o'lchash uchun mo'ljallangan murakkab o'lchov asbobi. Ushbu ilg'or sensorlar mikroskopik darajada juda aniq oqim o'lchovlarni taqdim etish uchun termal, mexanik va optik usullarni o'z ichiga olgan turli his qilish printsipidan foydalanadi. Sensorning asosiy texnologiyasi mikrotizim muhandisligini aniq aniqlash mexanizmlari bilan birlashtirib, minutiga mikrolitrlar tartibidagi oqim tezliklarini aniqlash imkonini beradi. Qurilma, odatda, his qiluvchi element, signallarni qayta ishlash bloki va chiqish interfeysidan iborat bo'lib, hammasi mavjud tizimlarga osongina integratsiya qilinishi uchun kompakt korpusga joylashtirilgan. Haqiqiy vaqtda ishlash qobiliyati bilan yuqori aniqlikni saqlab turish sensorni turli sohalarda noqimmatli qiladi. Dori topshirish tizimlarini va diagnostik jihozlarni nazorat qiluvchi tibbiyot qurilmalaridan tortib, aniq suyuqlik nazorati talab qilinadigan sanoet jarayonlarigacha bo'lgan sohalarda qo'llaniladi. Atrof-muhit monitoringida ushbu sensorlar havo va suv sifatini tahlil qilishda muhim rol o'ynaydi. Texnologiyaning kichik o'lchami uni portativ qurilmalarda hamda cheklangan fazoda qo'llash uchun qulay qiladi, shuningdek, uning past energiya iste'moli batereya bilan ishlaydigan tizimlarda samarali ishlashini kafolatlaydi. Sensor loyihasida, ko'pincha, o'zini tekshirish imkoniyatlari va haroratni kompensatsiya qilish xususiyatlari hamda keng tarqalgan atrof-muhit sharoitlarida ishonchli ishlashni ta'minlash uchun nazarda tutilgan.