מונח זרימת מסה תרמי מיקרו
הזרימת מסה של גז מיקרו נוצר במיוחד לביצוע מדידות ובקרת תהליך של מגוון גזי זרימה קטנים.
סדרת חיישנים זו יוצרת באמצעות טכנולוגיות מתקדמות של חלקי חיישני זרימה מיקרו-אלקטרומכניים (MEMS). שיעור הזרימה המינימלי שניתן למדוד הוא 0.6Nm³/h, והדיוק הגבוה ביותר יכול להגיע עד ל-1.0%. זרימת המ}$/ר מתאים לגז יבש, אין צורך בפיצויש/ת ולחץ ועם דrif תemperature קטן ותגובה מהירה של 50MS. מסך displaLCD חכם מראה נתונים Digitals בבירור ובאופן אינטואיטיבי, וקל לקרוא אותו. מוניטין זרימה דו-כיוונית, עם דיוק גבוה ו Shivrurit טובה הטווח מדידה. טכנולוג/ית עטיפה ייחודית מאפשרת להשתמש בה במספר קוטרי צינורות, עם עלות נמוכה והתקנה קלה, ויכולה להחליף את המידול החזק או ה Fiferntiel לחץ מטרים.