Mikro gāzes masas plūsma mērītājs ir speciāli izstrādāts dažādu mazplūsmu gāzu mērīšanai un procesa kontrolei.
Šīs senzoru serijas visas tiek izgatavotas, izmantojot modernus mikroelektromehāniskos sistēmas (MEMS) plūsmas jutības čipus. Var mērīt minimālo plūsmu 0,6Nm³/h, un augstākā precizitāte var sasniegt 1,0%. Šis plūsma mērītājs ir piemērots sausā gāzei, nav nepieciešams temperatūras un spiediena kompensācijas, ar mazām temperatūras novirzēm un ātru 50MS reakciju. Intelektuālā LCD displeja ekrāns skaidri un intuīcijas pamatā parāda ciparu datus, kas ļauj viegli to lasīt. Divvirzienīga plūsmas uzraudzība, ar augstu precizitāti un labu atkārtotību mērījumu diapazonā. Unikālā iepakojuma tehnoloģija to ļauj izmantot dažādos caurullu diametros, ar zemu maksu un vieglu montāžu, un to var aizstāt tradicionālos tilpuma vai spiediena plūsmas mērījumus metrus.