Bộ đo lưu lượng khí khối lượng vi nhiệt
Lưu lượng khí khối vi mô được thiết kế đặc biệt cho việc đo lường và kiểm soát quy trình của các loại khí có lưu lượng nhỏ khác nhau.
Chuỗi cảm biến này đều được chế tạo bằng các chip cảm biến lưu lượng hệ thống điện cơ vi mô (MEMS) tiên tiến. Lưu lượng tối thiểu có thể đo là 0.6Nm³/h, và độ chính xác cao nhất có thể đạt tới 1.0%. Lưu lượng đồng hồ phù hợp cho khí khô, không cần bù nhiệt độ và áp suất, với độ trôi drift nhiệt độ nhỏ và thời gian phản ứng nhanh 50MS. Màn hình hiển thị LCD thông minh hiển thị dữ liệu số rõ ràng và trực quan, dễ đọc. Giám sát dòng chảy hai chiều, với độ chính xác cao và tính tái hiện tốt trong phạm vi đo lường. Công nghệ đóng gói độc đáo cho phép sử dụng trong nhiều đường kính ống khác nhau, với chi phí thấp và dễ lắp đặt, có thể thay thế phương pháp đo thể tích hoặc chênh lệch áp lực truyền thống mét.