مقياس تدفق الكتلة الغازية الدقيقة الحرارية
الكتلة الغازية الدقيقة مصمم خصيصًا لقياس وتحكم العمليات في أنواع مختلفة من الغازات ذات التدفقات الصغيرة.
جميع مستشعرات هذه السلسلة تُصنع باستخدام رقائق استشعار تدفق نظام الميكروإلكترونيات والميكانيكا (MEMS) المتقدمة. يمكن قياس أقل معدل تدفق يصل إلى 0.6Nm³/ساعة، ويمكن للدقة أن تصل إلى 1.0%. هذا التدفق العداد مناسب للغاز الجاف، ولا يتطلب تعويض عن درجة الحرارة والضغط، مع انحراف صغير في درجة الحرارة واستجابة سريعة تبلغ 50 ميلي ثانية. الشاشة الذكية LCD تعرض البيانات الرقمية بوضوح وحدسية، مما يسهل قراءتها. مراقبة التدفق ثنائي الاتجاه، بدقة عالية وقابلية تكرار جيدة ضمن نطاق القياس. التكنولوجيا الفريدة للتعبئة تمكن استخدامه في أقطار أنابيب مختلفة، بتكلفة منخفضة وسهولة في التركيب، ويمكنه استبدال الأجهزة الحجمية التقليدية أو أجهزة قياس التدفق بالفرق في الضغط. أمتار